深腔阀座密封筋是真空阀门实现可靠密封的关键微结构，其轮廓形貌直接影响阀门密封性能。由于密封筋位于小口径（Φ12-80mm）、大深度（>70mm）的狭窄深腔内部，常规三坐标测量、触针轮廓仪和光学方法在测头进入、接触控制和信号稳定性方面存在显著局限。针对上述问题，本项目研制了一款微型化测头系统，采用模块化串联式总体架构，将音圈电机等大体积组件置于上部，探针与柔性铰链等精密结构置于下部，通过碳纤维中空探杆实现运动传递与信号传输，为深腔微结构精密测量提供了一套完整的机械结构解决方案。

本项目旨在攻克深腔密封筋精密测量的核心技术难题，主要目标包括：设计满足深腔可达性要求的串联式细长测头构型，径向轮廓控制在Φ20mm以内；研制一款兼顾前端无干涉可达性与整体抗弯刚度的探针，在10mN工作载荷下尖端挠度控制在亚微米量级；开发集成力-应变转换功能的柔性铰链复合体，配合半桥应变感知链路实现毫牛级接触力检测；建立基于应变反馈的音圈电机Z向主动补偿闭环控制系统，使探针在轮廓变化过程中维持稳定接触状态，为后续密封筋轮廓点列采集与形貌评价提供技术基础。

本项目成功研制了深腔密封筋笔式测头样机并搭建了实验验证平台。主要成果包括：提出了音圈电机-碳纤维探杆-柔性铰链-探针串联式总体构型，完成全要素三维建模与装配干涉检查；设计了有效工作长度满足要求的分段式钨钢探针，理论校核与有限元仿真验证了力学性能；编写了Z向主动补偿闭环控制程序，进行了轮廓跟随实验，实验表明缓坡特征目标范围保持率达59.72%，圆弧特征保持率达53.83%，Z向补偿连续平滑，验证了系统微力接触闭环控制方案的可行性。